在真空條件下已經(jīng)進行了許多工業(yè)過程。線性和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機構(gòu)必須極其精確和可靠地工作，幾乎不需要維護，也很少出現(xiàn)故障。在真空中使用電動機時，用戶必須考慮許多因素。

如果您想自動化真空過程，那么使用標準組件就不會太遙遠。普通電機會污染顆粒和分子沉積物，從而污染真空。諸如潤滑劑，粘合劑，絕緣材料和電路板材料之類的有機物質(zhì)的放氣會凝結(jié)在真空室或mingan的測量儀器上加工的工件上。

作為一種據(jù)說便宜的解決方案，標準電動機通常安裝在真空室內(nèi)。這些通過軸穿通驅(qū)動腔室內(nèi)的機械師。乍一看節(jié)省了空間。但是，要實現(xiàn)多維運動的自動化，確實會變得困難。如果您費心地使用導(dǎo)鏈和復(fù)雜的機械裝置，那么所獲得的空間將很快消失。

使用標準電機和軸套也有很大的風險。襯套本身的密封是一個磨損點。在最壞的情況下，真空會不受控制地受到干擾，并且整個產(chǎn)品批次都會在此過程中被破壞。結(jié)果，不僅有必要更換泄漏的襯套-還必須重建腔室內(nèi)的真空。

輕松實施多軸力學(xué)

在國際研究中，真空技術(shù)已經(jīng)使用了數(shù)十年。電機是在真空中運行的，這使得軸穿通成為多余，故障很少發(fā)生。例如，在馬克斯·普朗克地球物理研究所的大型真空系統(tǒng)中，研究機構(gòu)的時間緊迫，迫使人們必須使用故障安全解決方案。

現(xiàn)在，工業(yè)界也對此感興趣，這不僅是成本問題。系統(tǒng)設(shè)計和安裝大大簡化，避免的停機時間和維護成本也相當可觀。使用真空馬達，即使是復(fù)雜的多軸機械裝置也可以輕松實現(xiàn)，例如用于電子顯微鏡的被檢樣品的x，y，z方法。

直接在真空中使用具有許多優(yōu)點，但對驅(qū)動器也有特殊要求。發(fā)動機必須以低排放，強勁而高精度的方式工作。因此，高分辨率混合式步進電機特別適合。它們可以精確，動態(tài)地定位，而不會使反饋電子裝置放氣，并且由于其堅固的結(jié)構(gòu)，它們?yōu)闃O端的環(huán)境條件做好了準備。為了延長使用壽命并盡可能降低脫氣率，使用了優(yōu)質(zhì)材料作為絕緣材料和特殊潤滑劑。根據(jù)真空等級和計劃的占空比，一些制造商還提供優(yōu)化的調(diào)節(jié)過程。

真空中的溫度管理

特別要注意真空中的溫度管理。一方面是由于繞組中的歐姆和電感損耗，另一方面是由于再磁化導(dǎo)致的鐵和銅損耗，在電機中產(chǎn)生熱量。需要的轉(zhuǎn)矩或速度越大，電動機中的熱損失就越大。因此，真空電動機必須具有比標準電動機更好的耐熱性。特殊材料和智能加熱概念至關(guān)重要。流行的釹磁鐵由于居里溫度低而不合適，因為它們已在真空應(yīng)用的典型溫度范圍內(nèi)消磁。由于沒有可用的空氣作為冷卻介質(zhì)，由此產(chǎn)生的能量損失（除了熱輻射）僅通過所連接的機械裝置的傳導(dǎo)來消除。通過直接集成到繞組中的溫度傳感器進行監(jiān)控，確保符合限值。

涂層工藝的用戶特別受益于這些優(yōu)化的性能。例如，在OLED生產(chǎn)中的濺射系統(tǒng)中，通常要達到500°C或更高的溫度，除氣速率必須最小，旋轉(zhuǎn)運動必須極其精確和均勻。正確組裝的真空步進電機可直接用于需要扭矩的地方，通過適當?shù)目刂疲蔀閺?fù)雜要求提供出色的解決方案。

設(shè)計真空應(yīng)用

為了可靠，高性能地設(shè)計真空應(yīng)用，必須考慮多個方面：從避免關(guān)鍵軸直通到選擇合適的球軸承，潤滑劑和耐高溫磁體系統(tǒng)，再到集成溫度傳感器及其監(jiān)控能力。來自研究和太空旅行的成熟技術(shù)也可以在這里用于工業(yè)應(yīng)用。真空馬達是為滿足這些高要求而設(shè)計的，理想情況下，制造商已經(jīng)對其進行了調(diào)理，因此可以立即使用。

市場提供步進電機控制，除了適當?shù)妮敵黾壨猓€具有集成的溫度和旋轉(zhuǎn)變壓器監(jiān)控模塊，從而保證了zuida的精度和使用壽命。如果制造商還為電機提供滾珠軸承服務(wù)，則對應(yīng)用程序的使用壽命幾乎沒有限制。（文章來源網(wǎng)絡(luò)，侵權(quán)即刪）